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          超純水

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          超純水是把水中的導電介質幾乎完全去除,又把水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水,電阻率達到10MΩ*cm(25℃)。超純水常用于集成電路工業中用于半導體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等,也作為其他固態電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等制作的材料。

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